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1、按照PLC程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约1-2 min），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空；
2、按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
珠海真空热处理真空炉保养可指导设备操作员在职责范围内对设备各点检部位,用正确的检验方法和工具依据点检周期进行设备的日常保养；操作员需每日依据此保养说明书认真填写《珠海真空热处理设备日常维护保养记录》，并由班组长检查复核，维修员收集存档。全套设备按技术要求安装完毕后，无缺件并有良好的接地时，即可按下列项目进行调试与验收。