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硅V型槽的简介
经过晶面tr解理构成的V型槽侧壁润滑、线条笔直，水平距离精度高（小于0.5微米），无精细机械加工的累计误差，十分适合于放置光纤并精细定位，能和光电子器材的距离严厉匹配，笔直方向在同一条高度上，大大减少了光电子器材和光纤耦合对准的损耗。因为选用与微电子相似的微机械生产技能（MEMS技能），并行生产工艺保证了高品质、大批量、低成本。