实验炉

提高加热炉热效率的主要措施：

（1）采用{gx}、大能量的燃烧器，提高燃烧质量。

（2）监控烟气中的氧和一氧化碳含量，降低过剩空气系数。

（3）增设空气预热器或余热锅炉，回收烟气余热。

（4）对流室采用钉头管或翅片管，设置自动吹灰器，强化对流式的传热过程，使之多吸收热量。

（5）采用低传热系数的耐火绝热材料，降低炉壁散热损失。

（6）加强堵漏，减少漏入炉膛的空气量。

（7）采用计算机或数字控制仪进行最.佳燃烧控制。

沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系。管式PECVD系统由于其石墨舟中间镂空，因此利用了硅片作为电极的一部分，因此辉光放电的特性就与硅片表面的特性有了一定的关系，比如硅片表面织构化所生成的金子塔{jd0}的状态就对等离子体放电产生影响，而目前硅片的电导率的不同也影响到等离子场的均匀性。另外管式PECVD的气流是从石英管一端引入，这样也会造成工艺气体分布的不均匀。

　板式PECVD系统使用了衬底板作为电极，而且采用匀气的Shower系统，但是由于衬底板在长期加热后会有稍微的翘曲，从而造成平行板电极间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。

加热炉为什么要分辐射室和对流室？

答：1)加热炉的辐射室有两个作用：一是作燃烧室；二是将燃烧器喷出的火焰、高温烟气及炉墙的辐射传热通过炉管传给介质。这种炉子主要是靠辐射室内的辐射传热，小部分靠对流室的对流传热，这只占整个传热的10％左右。

2)对流室的主要作用是：在对流室内的高温烟气以对流的方式将热量传给炉管内的介质。在对流室内也有很小一部分烟气及炉墙的辐射传热。如果一个加热炉只有辐射室而无对流室的话，则排烟温度提高，造成能源浪费，操作费用增加，经济效益降低，为此，在设计加热炉时，通常都要设置对流室，以便能充分回收烟气中的热量。

方法的优缺点比较

　　各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接PECVD法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。

　　使用不同频率的PECVD系统，也各有一定的优缺点：

　　（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。

　　（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。

　　（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。

烟道气中氧含量过高应怎样处理？

答：烟道气中氧含量过高是由于炉体堵漏不好，造成外界空气进入炉膛内部，风门开得过大以及烟道挡板开度偏大，炉膛负压值高，使大量空气进入炉内造成烟气中氧含量过高，过剩空气系数α增大而造成炉子的热效率降低。应加强炉体的堵漏，及时调节好风门、汽门、油门和档板（俗称三门一板），控制合理的过剩空气系数，要控制合理的过剩空气系数还必须建立定期的烟气采样分析制度，对数据要认真分析。

化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，bao括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子，它是由硅烷和氮反应形成的。

双温区管式炉

产品概述：

RK-T1600-L6010LB2双温区高温真空气氛管式炉以硅钼棒为发热元件；双层风冷结构；高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型；30段可编程智能控制（可外接远程控制）； 加热区长度660mm；可通气氛及抽真空，炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度小于60度，炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，减少热量的损失，内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。该设备是科佳电炉自行研制开发的高性能高节能的新型管式电炉，产品具有先进合理的结构，升温快，操作简便，密封性能好，可预抽真空，真空能保持较长时间，也可以保持微正压。

主要用途：

RK-T1600TL6010LB2双温区高温气氛管式炉广泛用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门，用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。

什么是顶烧炉？

答：制氢转化炉是制氢装置的关键设备，大多采用顶烧炉，其辐射室为箱式结构，燃烧器布置在炉顶，一排燃烧器，一排炉管顺序布置。制氢转化炉的操作条件是最苛刻的，转化管系统都是高铬镍合金材料，因此采用单排管双面辐射型炉，可以避免局部过热，使炉管周向和轴向温度分布均匀，提高炉管的利用率。实际上，制氢转化炉是一个多管并流的外加热式反应器，炉管内装有催化剂，管内介质一边吸热，一边进行着复杂的化学反应。

为什么管内结焦会使管壁温度上升，并使炉管损坏：管内壁结上一层焦炭以后，增加了一层焦垢热阻，使管壁温度升高。其后，气相和液相介质将继续渗透到焦层的空隙中去，继续结焦，逐渐形成越来越厚的坚实的焦层，使管内温度急剧上升。当温度升高到允许值以上，加剧了炉管的腐蚀和高温氧化，使管壁厚度减薄，引起炉管鼓bao、破裂。同时使管内压力降升高，炉子操作性能恶化甚至造成装置停产。